2013-5411 Direct Write Laser lithography system
Direct Write Laser lithography (DWL) is a high resolution laser-based maskless optical lithography system.
It is a process of transferring geometric patterns to the surface of semiconductor material.
The surface of the semiconductor material is covered by photoresist that receives the light energy and generates the photochemical reaction to form the patterns.
Requirements:
DWL lithography system for scientific purposes, mainly for use with group IV semiconductors and semiconducting oxides:
— pattering of substrate down to 10x10 mm and up to 125x125 mm;
— minimum features size: 1 µm;
— laser wavelength in the range of 350 to 400 nm;
— substrate thickness up to 2 mm;
— areal writing speed: minimum 5 mm2/minute;
— alignment accuracy (3 sigma): 400 nm';
— electrical connection: 240 VAC/1-phase/50 Hz;
Note: To register your interest in this notice and obtain any additional information please visit the Doffin Web Site at
http://www.english.doffin.no/Search/Search_Switch.aspx?ID=293784.
Frist
Fristen for mottak av tilbud var 2013-06-21.
Anskaffelsen ble publisert 2013-05-07.
Hvem?
Hva?
Anskaffelseshistorikk
Kunngjøring av konkurranse (2013-05-07)
Gjenstand
Anskaffelsens omfang
Tittel: Laboratory, optical and precision equipments (excl. glasses)
Metadata for kunngjøring
Originalspråk: engelsk
🗣️
Dokumenttype: Kunngjøring av konkurranse
Kontraktens art: Varer
Forskrift: Det europeiske økonomiske samarbeidsområdet (EØS), med deltakelse av GPA-land
Felles innkjøpsordliste (CPV)
Kode:
Laboratorie-, optisk- og presisjonsutstyr (bortsett fra briller)
📦
Prosedyre
Prosedyretype: Åpen anbudskonkurranse
Tilbudstype: Innlevering for alle delkontrakter
Tildelingskriterier
Det mest økonomisk fordelaktige tilbudet
Oppdragsgiver
Identitet
Land: Norge
🇳🇴
Type tildelende myndighet: Offentligrettslig organ
Navn på tildelende myndighet: University of Oslo
Postadresse: P.O.Box 1032 Blindern
Postnummer: 0315
Poststed: Oslo
Kontakt
Internettadresse:
http://www.uio.no 🌏
E-post:
innkjop-matnat@mn.uio.no 📧
Telefon:
+47 22857092 📞
Referanse
Datoer
Sendt dato: 2013-05-07 📅
Innleveringsfrist: 2013-06-21 📅
Publiseringsdato: 2013-05-10 📅
Identifikatorer
Kunngjøringsnummer: 2013/S 090-153467
OJ-S-utgave: 90
Tilleggsinformasjon
“(NT Ref:293799).”
Kilde: OJS 2013/S 090-153467 (2013-05-07)
Tilleggsinformasjon (2013-06-18)
Gjenstand
Metadata for kunngjøring
Dokumenttype: Tilleggsinformasjon
Referanse
Datoer
Sendt dato: 2013-06-18 📅
Innleveringsfrist: 2013-06-25 📅
Publiseringsdato: 2013-06-21 📅
Identifikatorer
Kunngjøringsnummer: 2013/S 119-204532
Refererer til kunngjøring: 2013/S 90-153467
OJ-S-utgave: 119
Kilde: OJS 2013/S 119-204532 (2013-06-18)